400℃の低温帯から1600℃の高温帯まで。
カンタル発熱体や SiC 発熱体を用いた抵抗加熱ヒーターをオーダーメイドで製作しています。 納入実績としては 700℃～1200℃帯のヒーターが多く、用途に応じて 400℃の低温帯から 1600℃の高温帯まで実績がございます。
管状炉から箱型炉、半割れ式の分割炉、また雰囲気炉、真空炉等も対応可能です。 半導体の製造、熱電対の校正、その他化合物精製等、用途に応じた仕様のご相談を随時承っております。
製作事例
CASE STUDIES
01
カンタル線仕様の半導体製造用管状炉
温度仕様 : 400℃ 〜 1200℃
弊社の設立当初より製作し続けている半導体用管状炉です。 写真は横向き設置型ですが、縦向き設置型や水冷管付きなど使用環境に応じてカスタム致します。
02
7ゾーン勾配炉
温度仕様 : 400～1200℃
2 温度勾配で最大温度差500℃
03
熱電対校正炉
温度仕様 : 200～1100℃また高温用に600～1700℃
(例)
均熱領域:炉体中心240mm にて1100±0.5℃
安定:1100±0.1℃(社内試験にて1.5h 計測)
04
半割れ型ヒーター
温度仕様 : 800℃
流体配管等を挟み込む形で運用する為半割れに分解する事が可能なタイプです。
蝶番、クリップ留め、ボルト締め等固定方法含め対応致します。
また、熱電対や発熱体及び断熱材など部品のみの製作販売もお気軽にご相談下さい。